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| 一种全固态铝电解电容器器件及其ALD制备方法 | | 发布时间：2025-6-3 15:20:22 | | | | | 本发明公开了一种固态铝电解电容器件及其ALD制备方法，属于铝电解电容器领域；包括：对铝电解电容器阳极铝箔的除毛刺、化成及补形成；使用ALD沉积法在阳极箔介质层表面进行导电氧化物薄膜的沉积；对沉积的导电薄膜层进行阴极电极引出。本发明所述方法避免了ALD沉积金属单质阴极薄膜中还原性反应物气体分子及等离子体对铝箔介质层的损害；避免液相法制备阴极材料过程中酸性物质及强氧化剂等对铝箔介质层的损害，ALD制备的阴极导电氧化物电导率高，更容易进入阳极铝箔的微纳米孔隙中，且在介质层表面上均匀、厚度可控且致密，保证固态铝电解电容器的小型化、高容量引出率、高击穿场强、低漏电、优良频率特性、低ESR、低损耗及耐高温长寿命特性。 | | | 【刷新页面】【加入收藏】【打印此文】 【关闭窗口】 | |
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