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| 一种用于辅助微细超声加工的蚀刻液及其制备方法 | | 发布时间：2019-10-21 15:00:28 | | | | | 本发明公开一种用于辅助微细超声加工的蚀刻液，所述蚀刻液专门针对辅助微细超声加工研制，所述蚀刻液由以下质量百分含量的组分组成：氯化铁5～15％、酸3～5％、苯并三唑2～4％、乙二胺1～2％、十二烷基磺酸钠2～3％，余量为水；所述酸由高氯酸、次氯酸和磺酸组成，而且所述高氯酸、次氯酸和磺酸的质量比为(1～3)：(6～14)：(15～26)。本发明所述蚀刻液具有较低的蚀刻速度，而且侧蚀量较小，能够有效用于辅助微细超声加工。本发明还公开了所述蚀刻液的制备方法，以及所述蚀刻液在辅助微细超声加工中的用途。 | | | 【刷新页面】【加入收藏】【打印此文】 【关闭窗口】 | |
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