| 用于制备旋转靶的 ITO 粉研制 | 成果类型:新材料 | 专利号/登记号:用于制备旋转靶的 ITO 粉研制 | 权利人属性:用于制备旋转靶的 ITO 粉研制 | 发布时间:2019-1-3 15:53:04 |
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技术详细介绍技术详细介绍
该科技成果为 2007 年湖南省科技计划重点项目,通过了省级科技成果鉴定。
科技成果的先进性、创新性:
( 1 )通过在湿法制备 ITO 粉末中采用特殊的添加剂,消除了铟、锡顺序沉淀和沉淀剂局部过浓的缺陷,研制的 ITO 微粉高纯、均质、团聚程度少,易于实现工业化生产;
( 2 )建立了旋转靶用 ITO 粉产品的技术标准,确定了相应工艺流程和参数。
该科技成果已进行市场推广应用,经济社会效益良好。 |
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